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模切AOI检测机
模切AOI(自动光学检测)设备是专为模切卷材产品设计的自动化视觉检测系统,通过高精度光学成像与智能算法,实现对材料表面缺陷的快速识别、定位、尺寸测量及分类,大幅提升生产质量控制效率。
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Wafer缺陷检测设备
应用于多尺寸SiC衬底/外延生产过程,支持明场(含DIC)/暗场/PL成像方式的自由配置组合,适用于透明/半透明/不透明衬底/外延片表面/侧边/背面缺陷检测。
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Wire Bond检测设备
提供多尺寸晶圆和金线检测平台,灵活配置的专用视觉检测模块及成套软件系统。
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